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超凈高純試劑食品清洗消毒劑專用清洗劑其它

產品目錄

Product catalog

超凈高純試劑廣泛應用于太陽能光伏行業、液晶顯示、電子元器件、半導體行業制程的清洗或蝕刻

品名	分子式	純度級別
品名	分子式	UP-SS	UP-S	UP	EL
過氧化氫	H202	√	√	√	√
鹽酸	HCI				√
硫酸	H2S04		√	√	√
硝酸	Hn03				√
氫氟酸	HF		√
氨水	NH3,H20			√
醋酸	C2H402				√
氫氧化鈉	Na0H				√
氫氧化鉀	K0H				√
其他高純試劑		按照客戶要求研發生產

產品標準

Product standard

超凈高純電子化學品標準規格
EI級	UP級	UP-S級	UP-SS級
中小規模集成電路及電子元件加工工藝	0.8微米以上集成電路及TFT-LCD制造工藝	0.2-0.8微米集成電路加工工藝	0.18-0.09微米線寬集成電路加工工藝
控制1微米粒徑粒子	經過0.2微米孔徑過濾器過濾，控制0.5微米粒子	經過0.05微米孔徑過濾器過濾，控制0.2微米粒子	經過0.05微米孔徑過濾器過濾，控制0.2微米粒子
金屬雜質含量小于100ppb	金屬雜質含量小于10ppb	金屬雜質含量小于1ppb	單項金屬離子雜質含量≤0.1ppb
達到SEMI C1 C2標準	在100級凈化環境中灌裝，達到SEMIC7標準	在100級凈化環境中灌裝，達到SEMIC8標準	在100級凈化環境中灌裝，達到SEMIGrade4標準

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